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【2h】

Surface passivation by Al2O3 and a-SiNx: H films deposited on wet-chemically conditioned Si surfaces

机译：Al2O3和a-SiNx：H膜在湿化学处理的Si表面上沉积的表面钝化

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Bordihn, S Stefan; Mertens, V; Engelhart, P; Kersten, K; Mandoc, MM Magda; Müller, JW; Kessels, WMM Erwin;
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年度 2012
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